SJ 20516-1995 金电镀层薄层电阻测试方法
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0.4 |
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7 |
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日期： |
2024-7-27 |
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中华人民共和国电子行业军用标准,FL 0140 SJ 20516-1995,金电镀层纯度分析方法,Analytical methoa of the purities for electrodeposited gold coating,1995-05-25 发布1995-12-01 实施,中华人民共和国电子工业部批准,中华人民共和国电子行业军用标准,金电镀层纯度分析方法,Analytical method of the purities for electrodeposited,gold coating,SJ 20516^1995,1范围,1.1 主题内容,本标准规定ア含金量为99*0%~99.9%的工程用金电镀层纯度的测定方法,1.2 适用范围,本标准适用于电子和电气工程中,金属和非金属材料上金电镀层纯度的测定,2弓!用文件,GB 11446.1 -89 电子级水,SJ/Z 3206.6 - 89 发射光谱用石墨电极的形状和尺寸,SJ/Z 3206.13- 89半导体材料发射光谱分析方法通则,3定义,本章无条文,4 一般要求,4.I 环境条件,整个分析过程应在洁净环境中进行。以啰止空气中的灰尘对样品的沾污,4.2 空白值控制,空白值的大小及其稳定性直接影响分析结果的可靠性,其来源主要是空气中的灰尘、试剂,和水中的杂质、容器'沾污及操作人员本身。空白值应低于被测元素含量的十分之一,5详细要求,5.1 方法原理概要,每种元素的原子受外界能量激发后处于不稳定的激发态。当它重新回到基态或较低的能,级时,以光波的形式释放出多余的能量,光波的波长由式(1)确定:,中华人民共和国电子工业部1995.05.25发布 1995-12-0I实施,一］一,SJ 20516-1995,式中:ス——发射光谱线的波长,cm：,h——普朗克常数,6.625 X1O-34「S；,c----光速,cm-S-1;,EハE?——分别为低能级和高能级电子的能量,eV,不同元素的原子具有不同的能级,电子在各能级间的跃迁就产生该元素的特征谱线组,因此,特征光谱线的出现就表明该元素在分析试样中的存在,某元素的特征光谱线的强度与该元素在试样中的含量有式(2)的关系:,I = acb .. ⑵,即 Lgl = b Lgc + Logs(3),式中:I——谱线强度;,C——元素在试样中的含量;,叫b----常数,5.2 试剂和材料,a.硝酸,高纯,密度1,40(1 + 1)及(1 + 3),b.盐酸,高纯,密度1.18,(1 +り、(1+1)及0.1和Imol/L;,c.水:髙纯,电阻率15Mfbem(25じ),符合GB 11446.1中EW—!!级水的要求;,d,聚苯乙烯:2%苯溶液;,e.显影液A:米吐尔(对一甲氨基笨酚酸盐)2g,无水亚硫酸钠52g,对苯二酚10g,依次,溶于700mL 35-45C的水中,冷却后稀释至1000mL;,f.显影液B:无水碳酸钠44g,澳化钾2g,依次溶于7Q0mL 35~45c的水中,“冷却后稀释,至 I000mL;,g.定影液:硫代硫酸钠300g,氯化钾60g,依次溶于!000mL水中;,h,感光板:紫外!!型;,i,石墨电极:光谱纯,按SJ/Z3206.6加工成规定的形状,试样电极为S—5型,对电极为,D—1 型,5.3 标准溶液的配制,配制标准溶液所用的酸类及水必须符合5.2a, b,c条之要求,所用的容器材料和清洗方,法应符合SJ/Z 3206,13中8.2.8.3条之要求,5.3.1 金标准溶液:10mg/mL,准确称取鈍度为99.999%的高纯金!.0000g,溶于10mL王水中,在80匕的水浴上蒸发至,干。加入l-2mL盐酸,再蒸发至干。用盐酸稀释至100mL。该溶液中金浓度为,lOmg/mLo,5.3.2 杂质元素标准溶液:lmg/mL,以下配制杂质元素标准溶液所用的纯金属或盐类,其纯度必须在99.99%以上。所有杂,质元素标滙溶液的体积为100mL,浓度为lmg/mlo,a,银标准溶液,标准称取硝酸银0.1575g(加(1 + 1)硝酸2mL及适量水溶解,用水稀释至100mL,b.镉标准溶液,准确称取镉0.1000g溶于(1 + 3)盐酸20mし中,冷却后用水稀释至!OOmLo,c.钻标准溶液,—2 —,SI 20516-1995,准确称取钻0.1000g,加入(1 + 1)硝酸Wmi,微热使其溶解,冷却后加少量水煮沸,再冷却,后用水稀释至100ml〇,d.格标准溶液,准确称取重辂酸钾0.2829g,溶于适量水中,甩水稀释至100ml,e.铜标准溶液,准确称取氧化铜0.1252g,加热溶于(1 + D秸酸10m1中,用水稀释至100ml,f.铁标准溶液,准确称取铁0.1000g,加热溶于(1+1)盐酸10m!中,用水稀释至100mL,g.镇标准溶液,准确称取氧化镣0.1273g,加热溶于(1 + 1)盐酸10m!中,用水稀释至100ml,h.铅标准溶液,准确称取氧化铅Q. 1077g,用(1 + 1)捻酸10ml及少量硝酸加热溶解,除去二氧化氮。冷,却后用水稀释至100ml,i.锡标准溶液,准确称取锡0.1000g,用(1 + 1)盐酸10ml加热溶解,冷却后再加入浓盐酸10mL用水稀释,至 100ml,j.锌标准溶液,标准称取锌OJQOOg,溶于(1+1)盐酸10ml中,用水稀释至100ml,5.3.3 标相系列工作溶液,取5.3.2条中各杂质元素的标准溶液1.00mi,放入100ml容量瓶中,用lm&/L的捻酸稀,释至刻度,混合均匀。此溶液称为母液,其中所含各杂质元……
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